在制藥化工行業(yè)，光刻機用冷水機組是使用較多的制冷設備，常配套用于各種反應釜進行制冷反應，其具備運作平穩(wěn)靠譜的優(yōu)勢、常見故障少、特性好、震動小，噪音低、便于維護保養(yǎng)、使用期限長等優(yōu)勢。

　　1、光刻機用冷水機組設備可依據(jù)冷載貨量的尺寸，能夠應用一臺設備或幾臺設備的組成。制冷壓縮機能夠依據(jù)負荷轉變 全自動更替運作，自動調節(jié)動能，均衡每一個制冷壓縮機的時間，大大的增加了使用期限。

　　2、光刻機用冷水機組蒸發(fā)器的銅管選用內(nèi)，外螺桿式壓縮機提升管。銅管的表層含有外螺紋，銅管的外表層光潔、排熱效果非常的好。蒸發(fā)器行為主體由25mm厚的PE防靜電膠皮絕緣層，無冷凝，制冷損害小。

　　3、光刻機用冷水機組維護系統(tǒng)軟件設備包含：制冷壓縮機延時啟動保護裝置、過流保護器、高壓低壓保護裝置、溫控器、防寒電源開關、熔斷絲電源插頭、電子器件時間維護閥門、制冷壓縮機過過載保護器、制冷壓縮機經(jīng)常運行保護裝置和出現(xiàn)異常標示保證機器設備一切正常運作。

　　4、智能化的電子計算機自動控制系統(tǒng)，它具備多種多樣作用及其紀錄常見故障緣故。實際操作簡易，服務器聯(lián)接到開關電源。設備故障率低，性能高，安裝操作方便，控制系統(tǒng)可及時，形象化，靠譜地開展調節(jié)。

5、設備的冷卻器成梯狀低肋管，以提升熱傳導工作能力。銅管表層光潔，可減少壓力，便于清理和維護保養(yǎng)。